碳酰氟(CF2O)是高純電子氣體,國內(nèi)準備大規(guī)模生產(chǎn)
- 發(fā)布時間:2025-05-19
- 發(fā)布者: 本站
- 來源: 原創(chuàng)
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碳酰氟(CF2O)
產(chǎn)品說明
碳酰氟,又名氟光氣,是一種含氟、非易燃、有毒氣體,化學式為CF2O,主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,也可用作有機合成的中間體、氟化劑。
技術指標
組成
單位
指標
碳酰氟(CF2O)
wt%
≥99.0
三氟乙酰氟
wt%
≤0.5
其他
wt%
≤0.5
理化指標
檢測項目
單位
指標
化學名稱
/
三氟乙酰氟
CAS
/
353-50-4
分子式
/
CF2O
結構式
/
分子量
g/mol
66.01
沸點(1atm)
℃
-84
臨界溫度
℃
22.8
液體密度
g/ml
1.14
包裝方式
本產(chǎn)品充裝在鋼瓶或運輸槽罐中,鋼瓶包裝規(guī)格1000 kg/1000 L,鋼瓶充裝系數(shù)0.5 kg/L;鋼瓶或運輸槽罐外附有標簽、合格證,注明牌號、商標、批號。
注意事項
1.產(chǎn)品儲存時要遠離火源、熱源,防止超壓;儲存場所必須有良好的通風裝置。
2.高溫天氣,要對露天存放的鋼瓶進行防曬降溫措施,防止超壓。
3.本品按危險品運輸,運輸過程中應避免受熱或劇烈震動。
產(chǎn)品說明
碳酰氟,又名氟光氣,是一種含氟、非易燃、有毒氣體,化學式為CF2O,主要用作半導體制造裝置的清洗氣和刻蝕氣,也可用作有機合成的中間體、氟化劑。
技術指標
組成
單位
指標
碳酰氟(CF2O)
wt%
≥99.0
三氟乙酰氟
wt%
≤0.5
其他
wt%
≤0.5
理化指標
檢測項目
單位
指標
化學名稱
/
三氟乙酰氟
CAS
/
353-50-4
分子式
/
CF2O
結構式
/
分子量
g/mol
66.01
沸點(1atm)
℃
-84
臨界溫度
℃
22.8
液體密度
g/ml
1.14
包裝方式
本產(chǎn)品充裝在鋼瓶或運輸槽罐中,鋼瓶包裝規(guī)格1000 kg/1000 L,鋼瓶充裝系數(shù)0.5 kg/L;鋼瓶或運輸槽罐外附有標簽、合格證,注明牌號、商標、批號。
注意事項
1.產(chǎn)品儲存時要遠離火源、熱源,防止超壓;儲存場所必須有良好的通風裝置。
2.高溫天氣,要對露天存放的鋼瓶進行防曬降溫措施,防止超壓。
3.本品按危險品運輸,運輸過程中應避免受熱或劇烈震動。