六氟丁二烯
分子式：C4F6
分子量：162
CAS 號：685-63-2
| 項目 | 指標(biāo) | ||
| 外 觀 | 無色，不渾濁 | ||
| 六氟丁二烯含量 | ≥98% | ||
| 水份 | ＜50PPm（V） | ||
| N2 | ＜80PPm（V） | ||
| O2 | ＜20PPm（V） | ||
| CO2 | ＜20PPm（V） | ||
性 狀： 易燃、有毒、無色、無味的剛瓶裝液化壓縮氣體，吸入有害，與空氣混合后，濃度達到7%時，有立即燃燒和爆炸危險
用 途： 半導(dǎo)體的等離子蝕刻，優(yōu)良的干蝕刻氣體。含氟橡膠、合成含氟彈性體和電性能優(yōu)良的樹脂
貯 存： 貯存在陰涼通風(fēng)處，容器保持密閉。貯存在原容器中的溫度不超過50℃。避免陽光直射。注意不要與氧化劑一起混貯。遠離煙火。
運 輸： 按照壓縮氣體和液化氣體有毒氣體標(biāo)準(zhǔn)運輸
包 裝： 10L或47L鋼瓶壓縮包裝， 或依客戶要求包裝
