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乙硼烷|二硼烷B2H6

乙硼烷|二硼烷B2H6
乙硼烷 5.0N                     Diborane   5.0N
組分                                  Components 規(guī)格  Specification
乙硼烷                               Diborane(B2H6) 99.999%
氮                                      Nitrogen (N2)  ≤2 ppmv
氧                                      Oxygen (O2)  ≤0.5 ppmv
二氧化碳                           Carbon Dioxide (CO2) ≤2 ppmv
甲烷                                  Methane (CH4)  ≤4 ppmv
氫                                      Hydrogen (H2)  ≤100 ppmv
水                                      Water (H2O) ≤0.1 ppmv
三氟化硼                           Boron trifluoride(BF3) ≤50 ppmv
丁硼烷                               Teraborane(B4H10) ≤180 ppmv
戊硼烷                               Pentaborane(B5H9) ≤10 ppmv
戊硼烷                               Pentaborane(B5H11)
≤10 ppmv
產(chǎn)品用途:用于半導(dǎo)體、太陽能電池等領(lǐng)域

在線預(yù)訂

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